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電子廠廢水處理工藝流程圖講解（電子廠污水處理工藝|方法）

標簽：添加時間：2022-11-29 瀏覽次數:3542

　　電子廠廢水處理工藝流程圖講解（電子廠污水處理工藝|方法）

電子工業高速發展，半導體行業發展劇增，相關化學品的需求也逐年增多，電子級磷酸的需求增長顯著。

　　電子工業廢水處理工藝是什么？隨著我國電子工業的高度發展，電子工業廢水處理難度逐漸增加，樂中環保科技小編和大家一起聊聊電子工業廢水處理工藝。

　　一、電子工業廢水含磷酸廢液來源

　　電子級磷酸又被稱為超高純磷酸，是磷酸工業皇冠上的明珠，主要用于芯片的清洗、蝕刻，其潔凈度和純度對電子元器件的性能、可靠性及良品率影響很大，例如，在晶圓的加工過程中，若其被雜質污染，將導致集成電路(IC）的產率下降約50%。

　　因此，為了保證產品的可靠性，獲得高產率的大規模集成電路，電子工業必須使用高純電子級磷酸進行清洗，并不斷將新電子級磷酸補充到生產過程。隨著集成電路規模逐年增大，含磷酸廢液產生量不斷上升。

　　面板行業和集成電路行業是電子工業的典型代表，電子級磷酸在其中應用廣泛，其實際的使用工藝有所差別，產生的含磷酸廢液有很多不同特性。

　　二、電子工業含磷酸廢液的特點

　　面板和集成電路等電子工業經蝕刻或清洗工藝產生的含磷酸廢液的主要成分仍是磷酸（含量≥50%)、硝酸、醋酸的混合物,其中陽離子主要有鋁、鉬、銀和其他微量金屬離子。

　　除有無色透明的以外，該廢液還存在多種顯色形態，如帶灰色懸浮的、淺藍色澄清的等。主要原因是在電子工業中為了提升磷酸蝕刻或清洗效果，添加了抑制劑、分散劑等有機活性劑成分。

　　三、電子工業廢水含磷酸廢液提純技術

　　1、凈化＋蒸發濃縮技術

　　對于低有機物含磷酸廢液，其中僅含有無機酸和有價金屬陽離子。向該廢液中添加雙氧水氧化后,采用無機碳化硅陶瓷膜超濾去除懸浮物，再用多效負壓蒸發將廢磷酸中的揮發性醋酸、硝酸脫除并濃縮至大于75%，濃縮后的磷酸經沉降再次去除懸浮物，即可滿足《工業磷酸》(GB/T 2091——2008）的標準，市場價值居于中位。通常只能選擇石墨作為蒸發設備的材料來應對設備腐蝕，因此設備故障率較高。目前，磷酸凈化+蒸發提濃的工藝要求較高，多數停留在實驗室階段或由大型磷酸企業實施，僅有少部分危險廢物處理企業進行了應用。

　　2、萃取提純＋蒸發濃縮技術

　　對于有機酸或雜質含量較多的含磷酸廢液，可以選擇多級逆流萃取工藝，由于磷酸與有機萃取相結合力不強,要投入硫酸促進磷酸在萃取段向有機相轉移，并在后端用低濃度稀磷酸進行反萃，后通過100℃左右蒸發濃縮獲得濃度75%的磷酸，降低對設備腐蝕的要求。利用萃取除雜法處理面板行業產出的含磷酸廢液，研究證實，磷酸三丁酯/N235/DT-100萃取體系的除雜效果較好，在比較好的條件下，磷酸回收率達到93.80%，硝酸去除率達到82.65%。但以萃取為主的提純工藝多見于大型濕法磷酸企業，主要集中在我國三四線城市，該磷酸凈化技術在危險廢物處理企業亦不常見。

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